宁波市生态环境局：

浙江金瑞泓科技股份有限公司委托浙江甬绿环保科技有限公司编制的《浙江金瑞泓6英寸集成电路用硅抛光片生产线填平补齐技术改造项目环境影响报告书》（以下简称《报告书》）等资料收悉。经我局研究，现提出如下初审意见供参考：

一、根据《报告书》结论、专家评审意见，同意浙江金瑞泓科技股份有限公司浙江金瑞泓6英寸集成电路用硅抛光片生产线填平补齐技术改造项目在浙江省宁波市北仑区港东大道20号建设。报送的《报告书》经批复后可作为该项目建设和日常运行管理的环境保护依据。

二、项目建设内容：项目拟投资4363万元，利用已建厂房，实施“浙江金瑞泓6英寸集成电路用硅抛光片生产线填平补齐技术改造项目”。在充分利用现有厂房和设备设施的基础上，通过替换落后设备、购置相关先进设备，对公司现有的一条6英寸硅抛光片生产线实施填平补齐和技术改造，以解决公司现有6英寸硅抛光片的产能瓶颈，新增6英寸硅抛光片月产15万片（年产180万片）的产能，技改后全厂生产规模为年产硅片934万片（按6英寸折合）。

三、建设单位应在本项目建设和运行过程中严格按照环评要求落实各项污染防治措施，重点做好以下工作：

（一）建设项目必须以实施清洁生产为前提，采用先进的生产工艺、技术和设备，提高自动化控制水平，从源头控制和减少污染物的产生和排放。

（二）严格落实环评报告中各项废气防治措施。项目产生的废气主要为单晶单元酸性废气；水环真空泵尾气；成型、热处理、抛光、外延单元酸性废气和碱性废气；热处理背封硅烷尾气；外延炉尾气等。本项目对单晶单元化腐车间进行升级改造，减少化腐机所在车间面积，收集风量由25000m3/h变为12500m3/h，单晶单元酸洗废气治理工艺由“二级碱喷淋+吸附剂吸附”改为“四级碱喷淋（氢氧化钠+硫代硫酸钠溶液喷淋）”，其余均沿用原有废气处理系统。单晶单元酸性废气收集并经四级碱喷淋塔处理后通过25m高排气筒排放；单晶单元水环真空泵尾气（砷及其化合物、锑及其化合物）经碱喷淋塔处理后通过25m高排气筒排放（原环评未分析，实际已存在）；成型单元酸性废气收集并经二级碱喷淋塔+SDG吸附处理后通过25m高排气筒排放；热处理单元酸性废气收集分别经2座碱喷淋塔处理后通过2根25m高排气筒排放；热处理背封硅烷尾气经燃烧塔热氧化处理后进入热处理单元酸性废气收集系统，最终经碱喷淋塔处理后通过1根25m高排气筒排放；热处理单元喷砂酸性废气收集并经碱喷淋塔处理后通过15m高排气筒排放；抛光单元酸性废气收集并经碱喷淋塔处理后通过15m高排气筒排放；外延单元酸性废气收集并经碱液喷淋塔处理后通过20m高排气筒排放；成型、热处理、抛光、外延单元碱性废气收集并经酸喷淋塔处理后通过25m高排气筒排放；外延炉尾气经设备自带Scrubber尾气处理器处理后无组织排放；食堂油烟经油烟净化器处理后接至食堂所在楼楼顶高空排放。经处理后的废气各污染物浓度达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）、《锡、锑、汞工业污染物排放标准》（GB30770-2014）（水环真空泵尾气参照此标准）及《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）等相关标准限值要求。

（三）厂区严格执行雨污分流、清污分流、污污分流。本项目废水主要包括含氟废水、研磨废水、酸碱废水、废气喷淋塔废水、单晶水环真空泵废水、纯水制备浓水和生活污水等。其中含氟废水经含氟废水处理系统（依托现有，设计处理能力30m3/h）处理达标后纳管排放；酸碱废水、废气喷淋塔废水经酸碱废水处理系统（对现有酸碱废水处理系统进行改造，现有设计处理能力130m3/h，改造后设计处理能力提升至160m3/h）中和处理达标后纳管排放；低浓度研磨废水经研磨废水处理回用系统（本项目新增，设计处理能力40m3/h）处理后回用于冷却塔补水，高浓度研磨废水和研磨废水回用系统浓水经研磨废水处理系统（依托现有，设计处理能力50m3/h）处理达标后纳管排放；单晶水环真空泵废水及单晶水环真空泵尾气治理喷淋废水经含砷、锑废水处理系统（依托现有，设计处理能力3m3/h）处理达标后纳管排放；抛光、热处理单元产生的后道清洗废水部分回用于酸碱喷淋塔补水，部分经清洗废水回用系统（依托现有，RO反渗透）处理后回用于清洗工序；纯水制备产生的一次浓水经浓水回用系统（依托现有，RO反渗透）处理后回用于纯水制备，剩余二次浓水回用于酸碱喷淋塔补水；生活污水经隔油池、化粪池预处理后纳管排放。废水纳管标准执行《电子工业污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准，其中总砷车间排放口达标，总锑参照执行《锡、锑、汞工业污染物排放标准》（GB30770-2014）表2新建企业水污染物排放限值，单位产品基准排水量执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表2标准要求。废水最终经岩东污水处理厂处理达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）表1一级A标准后排入镇海-北仑-大榭海域，其中总砷执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）表2标准，化学需氧量、氨氮、总氮、总磷执行《城镇污水处理厂主要水污染物排放标准》（DB33/2169-2018）中表1现有城镇污水处理厂主要水污染物排放限值。

（四）选用低噪声设备及合理布局，采取有效的隔声减振等噪声防治措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

（五）生产过程产生的各类固体废物应根据特性按规范要求分类收集，定期交相关单位处置，严禁二次污染。其中危险废物必须收集后委托有资质单位进行安全处置，并严格按有关规定进行申报登记，执行转移联单制度，厂内暂存场所须按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）建设。

（六）全面做好风险事故防范工作，严格按照环评要求落实各项环境风险防范措施。应根据《企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法（试行）》的通知，在本项目投入生产或者使用前，对应急预案进行修订，并将事故应急预案落实到位。

（七）单晶单元酸洗废气处理不得使用硫化钠；严格落实《中国竞彩网开展全市工业企业废气处理设施碱液喷淋装置安装联网pH监控和用电监控工作的通知》（甬环发函〔2022〕24号）中的相关要求，做好各碱液喷淋装置安装联网pH监控和用电监控。

四、项目的性质、规模、地点或经营内容等如有变动，需另行报批。

五、项目应严格执行环保“三同时”制度，落实有关污染物防治设施及措施。项目竣工后，你单位应按《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评〔2017〕4号）规定对配套的环保设施进行验收，验收合格后方可正式投入使用。

宁波市生态环境局北仑分局

2026年6月15日